Технология появится через 10 лет: российские ученые форсируют проект создания машины-литографа для выпуска современной электроники — Российский литограф для печати кристаллов (чипов) для микроэлектроники, не хуже того, что был создан голландской компанией ASML, готовы создать российские ученые